雙面研磨拋光機

            YM-16B-5硅片高精密雙面研磨機
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            添加時間:2022-09-09 14:56:59


            用于高晶硅、陶瓷、硬質(zhì)合金、玻璃、晶圓片雙面研磨及拋光

            主要參數(shù): 
            1、上下研磨尺寸;(mm)      φ  1160*377*50
            2、游星輪最大直徑(mm)
            3、游星輪參數(shù):齒數(shù)=84 模數(shù)=16
            4、游星輪數(shù)量:5片
            5、修正輪數(shù)量:3片
            6、最小研磨/拋光厚度:0.3mm
            7、最大研磨/拋光厚度:25mm
            8、下研磨盤轉(zhuǎn)速(rpm):0~50
            9、上研磨盤轉(zhuǎn)速(rpm):  0~40
            10、上研磨盤上升氣缸缸徑:φ160mm
            11、內(nèi)外齒圈抬升行程:0~40mm
            12、氣源壓力:0.5~60mpa
            13、主電機功率:11kw  380v  1460rpm
            14、設(shè)備外形尺寸:2500*2200*2800mm

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